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碳化硅半導(dǎo)體器件的制作方法[]圖是示意性示出制造本發(fā)明的實(shí)施例中的碳化硅半導(dǎo)體器件的方法的步的。[]圖是示意性示出本發(fā)明的實(shí)施例中的碳化硅半導(dǎo)體器件的構(gòu)造的平面圖。[。

采用如碳化硅所制成的電加熱元件的制作方法技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及電。年月日-的制作方法技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及電阻陶瓷加熱元件,尤其,但卻并不僅僅,適用于碳化硅的。這些管腳通常布置在一個平面(這樣元件具有板球棒形的外。

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