多晶硅压阻式压力传感器--《固体电子学研究与进展》年期摘要:本文叙述一种新型的压力传感器——多晶硅压阻式压力传感器。这种传感器以单晶硅为衬底材料,多晶硅电阻条构成惠斯通桥路,二者之间用介质隔离。器件的背面通过。

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冷氢化工艺能量利用的研究--《天津大学》年硕士论文张娜;李锋;张艳春;;多晶硅副产物在生产系统内的循环利用[J];无机盐工业;年期郑小波;吴新宝;;夹点技术在化工设计中的运用[J];化工管理;年期刘芳芳;侯丹。

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