一道比較難的制氮化硅工藝流程題,氮化硅硬度大、熔點高、不溶于。高溫下氧氣及水蒸氣能明顯腐蝕氮化硅.一種用工業(yè)硅(含少量鉀、鈉、鐵、銅的氧化物)合成氮化硅的工藝主要流程如下:某同學(xué)認為,去掉無水氯化鈣裝置可使裝置更加簡易,易于。

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