多晶硅生产工艺流程如下: (1)粗硅粉碎的目的是 .分离SiHCl3 的方法为 . (2)900℃以上. H2与SiHCl3发生如下反应:SiHCl3 Si ΔH 0.其平衡常数表达式为K

解答:解:(1)固体表面积越大,化学反应速率越快,粗硅粉碎的目的是增大接触面积工业上广泛采用的合成硅烷方法是让硅化镁和固体氯化铵在液氨介质中反应得到硅烷,

多晶硅生产工艺流程如下:(1)粗硅粉碎的目的是 .分离SiHCl3的方法为 .(2)900℃以上.H2与SiHCl3发生如下反应:SiHCl3(g)+H2,△H0.其平衡常数表达式为K=